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酸性微蝕劑

  • 酸性微蝕劑是不含有氟離子、螯合劑、耗熱少且可使用於噴灑或浸泡方式之單一製程使用藥液。

 

  • 酸性微蝕劑可將基板之鉻抗氧化層去除並得到一均勻之微蝕銅表面
應用的範圍包括內層、外層、防焊、噴錫HAL或黑/棕化製程之前處理

  1. 可得均勻之微蝕銅表面
  2. 噴洒式和浸泡式皆可使用

  1. 外觀：淡黃色到無色液體
  2. 比重(25℃)：1.290 ~ 1.330
  3. pH：<1.0
  4. 水中溶解度：完全溶解

槽體 PP、PVC或polycarbonate抗酸性材質
抽風設備 建議為需要
溫度控制系統 Teflon、石英、鈦金屬或316不銹鋼材質

1.乾膜前處理

  噴灑方式 浸泡方式
配槽濃度 50~60﹪v/v 60~70﹪v/v
操作溫度 27~32℃ 27~32℃
反應接觸時間 30~45秒 45~60秒
微蝕速率 40~80μin/min 30~60μin/min
換槽時機 銅離子＞26 g/l 銅離子＞30 g/l

2.直接金屬化製程前處理

  噴灑方式 浸泡方式
配槽濃度 10~20﹪v/v 10~20﹪v/v
操作溫度 21~27℃ 21~27℃
反應接觸時間 10~15秒 30~90秒
微蝕速率 15~25μin/min 15~25μin/min
換槽時機 銅離子＞15 g/l 銅離子＞15 g/l

3. 棕化製程前處理

  噴灑方式 浸泡方式
配槽濃度 5~15﹪v/v 10~20﹪v/v
操作溫度 27~32℃ 27~32℃
反應接觸時間 10~60秒 20~90秒
微蝕速率 5~25μin/min 5~25μin/min
換槽時機 銅離子＞15 g/l 銅離子＞15 g/l

4. 黑棕化，HAL，電鍍製程前處理

  噴灑方式 浸泡方式
配槽濃度 20~30﹪v/v 30~40﹪v/v
操作溫度 27~32℃ 27~32℃
反應接觸時間 30~60秒 90~120秒
微蝕速率 25~35μin/min 20~30μin/min
換槽時機 銅離子＞15 g/l 銅離子＞18 g/l

六、從電子顯微鏡下觀察不同反應時間對應微蝕速率

反應時間：40 sec ; 微蝕率：0.45μm

反應時間：80 sec ; 微蝕率：0.9μm


反應時間：40 sec ; 微蝕率：1.35μm

反應時間：80 sec ; 微蝕率：1.8μm